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基础信息Product information
产品名称:

半导体封装材料真空探针台

产品型号:

厂商性质:生产厂家

所在地:北京市

更新日期:2024-09-20

产品简介:

半导体封装材料真空探针台是一种能够在高真空环境下进行精确测量和实验的设备。其基本原理是利用真空环境下的物理现象和特性,对样品进行各种实验和测量。在高真空环境中,气体分子很少,这有助于减少空气阻力、空气振动和其他干扰因素,从而获得较为准确和可靠的实验数据。

产品特性Product characteristics
品牌华测

半导体封装材料真空探针台


半导体封装材料真空探针台


半导体封装材料真空探针台产品参数:

腔体

品台尺寸:2英寸

样品固定:样品固定

观察窗口:2英寸

真空度:10-6 torr

探针臂接口:最多6个探针臂接口

其他接口:电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式:液氮 / 液氦

控制方式:开循环手动

温度范围:77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

温度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K

稳定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K


显微镜

X-Y-Z 移动行程:50mm×25mm×13mm

结构:外置探针臂,真空波纹管结构

移动精度:10μm / 1μm

光源:外置LED环形光源 / 同轴光源

CCD:200万像素 / 500万像素 / 1200万像素


探针座

X-Y-Z 移动行程:X-Y-Z 移动行程

结构:外置探针臂,真空波纹管结构

移动精度:10μm / 1μm


探针夹具

线缆:同轴线 / 三轴线 / 射频线

漏电精度:10pA / 100fA / 10fA

固定探针:弹簧固定 / 螺丝固定

接头类型:BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口


探针

射频支持:DC-67GHZ

针尖直径:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材质:钨钢 / 铍铜

真空组件:分子泵组 / 机械泵

冷源组件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机

外形重量:730mm×750mm×1265mm(长宽高)      约100kg


防震桌参数

气浮隔振防震桌

隔振方式:隔振方式

材质:不锈钢 / 碳钢

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:<0.8μm

孔距:25×25mm

孔径:M6

平台尺寸(长宽):可定制

平台厚度:50 / 100 / 200mm

固有频率:.5Hz - 2Hz

支撑腿:气浮支撑腿

支撑腿数量:4个 / 6个

支撑腿高度:800mm±10mm

其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制



半导体封装材料真空探针台


产品参数:

腔体

样品台尺寸:4英寸

样品固定:样品固定

观察窗口:4英寸

真空度:10-6 torr

探针臂接口:最多6个探针臂接口

其他接口:电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式:制冷机

控制方式:闭循环自动控制

温度范围:4.5K ~ 450K

温度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K

稳定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K

显微镜

X-Y-Z 移动行程:50mm×25mm×13mm

结构:外置探针臂,真空波纹管结构

移动精度:10μm / 1μm

光源:外置LED环形光源 / 同轴光源

CCD200万像素 / 500万像素 / 1200万像素


探针座

X-Y-Z 移动行程:X-Y-Z 移动行程

结构:外置探针臂,真空波纹管结构

移动精度:10μm / 1μm


探针夹具

线缆:同轴线 / 三轴线 / 射频线

漏电精度:10pA / 100fA / 10fA

固定探针:弹簧固定 / 螺丝固定

接头类型:BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口


探针

射频支持:DC-67GHZ

针尖直径:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材质:钨钢 / 铍铜

真空组件:分子泵组 / 机械泵

冷源组件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机

外形重量:730mm×750mm×1265mm(长宽高)      约100kg


防震桌参数:

阻尼隔振防震桌

隔振方式:高级复合材料隔振

材质:不锈钢 / 碳钢

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:<0.8μm

孔距:25×25mm

孔径:M6

平台尺寸(长宽):可定制

平台厚度:50 / 100 / 200mm

固有频率:6Hz - 8Hz

支撑腿:阻尼支撑腿

支撑腿数量:4个 / 6个

支撑腿高度:800mm±10mm

其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制


半导体封装材料真空探针台

半导体封装材料真空探针台






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